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产品名称:光刻机

公司名称:上海鑫有研电子科技有限公司

厂商性质:暂无

所 在 地:暂无

产品价格:面议

更新时间:2011-06-07

浏览次数:706

(联系我时,请说明是在仪众国际器网上看到的,谢谢)

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产品详细介绍

 

型号:2000B

 

.技术特征

(深层曝光主力机型)

该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,

采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD

象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝

光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。

 

 

二、主要技术指标:

1、曝光面积:110mm×110mm

2、分辨力:   0.81µm(胶厚2µm正胶);

3、胶厚600µmSU8胶,据用户工艺条件);

4、对准精度:±0.6µm

5、掩模尺寸:2.5inch3inch4inch5inch

6、样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm

7、照明均匀性:±3.5%(ф100mm);  

8、汞灯功率:1000W(直流);

9、曝光方式:定时(倒计时方式0.1s999.9s)。

 

 


 

型号:2000B

 

.技术特征

(深层曝光主力机型)

该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,

采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD

象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝

光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。

 

 

二、主要技术指标:

1、曝光面积:110mm×110mm

2、分辨力:   0.81µm(胶厚2µm正胶);

3、胶厚600µmSU8胶,据用户工艺条件);

4、对准精度:±0.6µm

5、掩模尺寸:2.5inch3inch4inch5inch

6、样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm

7、照明均匀性:±3.5%(ф100mm);  

8、汞灯功率:1000W(直流);

9、曝光方式:定时(倒计时方式0.1s999.9s)。

 

 


 

型号:2000B

 

.技术特征

(深层曝光主力机型)

该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,

采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD

象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝

光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。

 

 

二、主要技术指标:

1、曝光面积:110mm×110mm

2、分辨力:   0.81µm(胶厚2µm正胶);

3、胶厚600µmSU8胶,据用户工艺条件);

4、对准精度:±0.6µm

5、掩模尺寸:2.5inch3inch4inch5inch

6、样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm

7、照明均匀性:±3.5%(ф100mm);  

8、汞灯功率:1000W(直流);

9、曝光方式:定时(倒计时方式0.1s999.9s)。

 

 

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